FIB雙束掃描電鏡

產(chǎn)品介紹

Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡可快速輕松的定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。系統(tǒng)配備Thermo Scientific Auto Slice&View軟件，可以高質(zhì)量、全自動(dòng)地采集多種三維信息。無論是在STEM模式下以30kV來獲取結(jié)構(gòu)信息，還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息，系統(tǒng)可在廣泛的工作條件下提供出色的納米級(jí)細(xì)節(jié)。Scios 2 DualBeam可幫助所有經(jīng)驗(yàn)水平的用戶更快、更輕松的獲得高質(zhì)量、可重復(fù)的結(jié)果，此外，系統(tǒng)專為材料科學(xué)中具挑戰(zhàn)的材料微觀表征需求而設(shè)計(jì)，配備了全集成化、極快速M(fèi)EMS熱臺(tái)，可在更接近真實(shí)環(huán)境的工作條件下進(jìn)行樣品表征。

Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡參數(shù)：

發(fā)射源：高穩(wěn)定型肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

分辨率：
☆工作距離下1.4nm（1keV）

電子束參數(shù)：
☆探針電流范圍：1pA – 400nA
☆加速電壓范圍：200V ~ 30kV
☆著陸電壓范圍：20eV ~ 30keV
☆導(dǎo)航蒙太奇功能，可額外增大視場(chǎng)寬度

離子光學(xué)：
大束流Sidewinder離子鏡筒
加速電壓范圍：500v-30kv
離子束流范圍：1.5pA-65nA
15孔光闌
不導(dǎo)電樣品漂移抑制模式
離子源壽命至少1000h
離子束分辨率30kv下3.0nm

樣品室：
☆電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處（SEM7mm）
☆端口：21個(gè)
☆內(nèi)寬：379mm

樣品臺(tái)：靈活五軸電動(dòng)樣品臺(tái)
☆XY范圍：110mm
☆Z范圍：65mm
☆旋轉(zhuǎn)：360° 連續(xù)
☆傾斜：-15°到+90°
☆大樣品尺寸，直徑110mm，可沿X、Y軸*旋轉(zhuǎn)時(shí)
☆大樣品高度，與優(yōu)中心點(diǎn)間隔為85mm
☆大樣品質(zhì)量 5 kg（包括樣品托）
☆同心旋轉(zhuǎn)和傾斜

樣品托：
☆標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品托，以*方式直接安裝到樣品臺(tái)上，可容納18個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托架（φ12mm）、3個(gè)預(yù)傾斜樣品托、2個(gè)垂直和2個(gè)預(yù)傾斜側(cè)排托架（38°和90°），樣品安裝無需工具

探測(cè)器系統(tǒng)：可同步檢測(cè)多達(dá)4中信號(hào)
☆樣品室二次電子探測(cè)器ETD
☆鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器T1
☆鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器T2
☆鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器T3（可升級(jí)）
☆ IR-CCD紅外相機(jī)（觀察樣品臺(tái)高度）
☆ 可用于圖像導(dǎo)航的彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam+™
☆ 高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測(cè)器ICE
☆ 可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態(tài)背散射探測(cè)器DBS
☆ 電子束流測(cè)量

控制系統(tǒng)：
☆ 64 操作系統(tǒng)、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)
☆ 圖像顯示：24寸LCD顯示器，顯示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自定義的GUI，可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示4幅圖像
本地語(yǔ)言支持