球差電鏡，什么是球差？球差是像差的一種，是影響TEM分辨率的主要原因之一。由于像差(球差、像散、彗形像差和色差)的存在，無論是光學(xué)透鏡還是電磁透鏡，其透鏡系統(tǒng)都無法做到。光學(xué)透鏡中，可通過將凸透鏡和凹透鏡組合使用來減少由凸透鏡邊緣匯聚能力強中心匯聚能力弱所致的所有的光線(電子)無法匯聚到一個焦點的缺點，可對于電磁透鏡，我們沒有凹透鏡，球差便成了影響TEM分辨率最主要也最難解決的問題。
球差電鏡，球差是由什么產(chǎn)生的？TEM中包含多個磁透鏡：聚光鏡、物鏡、中間鏡和投影鏡等。球差是由于磁鏡的構(gòu)造不好造成的，這些磁鏡組都會產(chǎn)生球差。當(dāng)我們矯正不同的磁透鏡就有了不同種類的ACTEM。當(dāng)我們使用STEM模式時，聚光鏡會聚電子束掃描樣品成像，此時聚光鏡球差是影響分辨率的主要原因。因此，以做STEM為主的TEM，球差校正裝置會安裝在聚光鏡位置，即為AC-STEM。而當(dāng)我們使用image模式時，影響成像分辨率的主要是物鏡的球差，此種校正器安裝在物鏡位置的即為AC-TEM。當(dāng)然也有在一臺TEM上安裝兩個校正器的，就是所謂的雙球差校正TEM。
球差電鏡安裝了物鏡矯正器或者聚光鏡矯正器，消除了一些透鏡系統(tǒng)中存在的球面像差，將透射電鏡的分辨率提高到了亞埃級。它可以在兩種模式下工作，分別是“TEM模式”和“STEM模式”，在TEM下更多是觀察形貌，在STEM模式下，可以做EDS和EELS成分線掃和mapping。
