透射掃描電子顯微鏡既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡，可以將樣品冷卻到液氮溫度，特別適用于觀測(cè)蛋白、生物切片等對(duì)溫度敏感的樣品。通過對(duì)樣品的冷凍，可以降低電子束對(duì)樣品的損傷，減小樣品的形變，從而得到更加真實(shí)的樣品形貌。
透射掃描電子顯微鏡成像是利用會(huì)聚的電子束在樣品上掃描來完成的。在掃描模式下，場(chǎng)發(fā)射電子源發(fā)射出電子，通過在樣品前磁透鏡以及光闌把電子束會(huì)聚成原子尺度的束斑。電子束斑聚焦在試樣表面后，通過線圈控制逐點(diǎn)掃描樣品的一個(gè)區(qū)域。在每掃描一點(diǎn)的同時(shí)，樣品下面的探測(cè)器同步接收被散射的電子。對(duì)應(yīng)于每個(gè)掃描位置的探測(cè)器接收到的信號(hào)轉(zhuǎn)換成電流強(qiáng)度顯示在熒光屏或計(jì)算機(jī)顯示器上。樣品上的每一點(diǎn)與所產(chǎn)生的像點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)。從探測(cè)器中間孔洞通過的電子可以利用明場(chǎng)探測(cè)器形成一般高分辨的明場(chǎng)像。環(huán)形探測(cè)器接受的電子形成暗場(chǎng)像。
透射掃描電子顯微鏡的平臺(tái)式設(shè)計(jì)具備了模塊多功能化，最高的穩(wěn)定性及操作的便捷性，從而提供可靠的最佳成像性能。掃描電子顯微鏡的核心優(yōu)勢(shì)：
1.穩(wěn)定性更高：牢固的系統(tǒng)機(jī)殼、恒定功率物鏡和遠(yuǎn)程操作可實(shí)現(xiàn)一致使用
2.自動(dòng)化：多種自動(dòng)功能(自動(dòng)電子槍、自動(dòng)對(duì)齊)可提高結(jié)果的可重復(fù)性和再現(xiàn)性。
3.高質(zhì)量成像：相機(jī)提供大視場(chǎng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度、高速度的實(shí)時(shí)數(shù)字縮放。
4.快速更換樣品：強(qiáng)大的真空系統(tǒng)可提供無污染的環(huán)境，并在發(fā)生氣鎖后快速恢復(fù)。
5.數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)：軟件用于在無人值守的情況下自動(dòng)進(jìn)行多個(gè)尺度的大面積采集。
6.冷凍成像：在較低冰晶生長(zhǎng)速度下觀察冷凍樣品，并使用EPU軟件自動(dòng)執(zhí)行單顆粒分析成像。
